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1.选择材料类型:根据应用需求选择合适的材质来制作沟道层或源极/漏子区域的材料，如硅、锗等；同时根据所需的阈值电压范围确定衬底材料的种类和等级(例如高纯度多晶si)。此外还需要考虑工艺窗口的---以及可获得的设备兼容性等因素来确定具体使用的物质组分及其分数比及制备方法与条件。通常在杂质注入时采用准分子激光器进行掺杂，通过改变入射光的波长实现不同浓度的离子渗镀或者通过控制光束扫描速度来实现不同程度的电离辐射损伤分布(如脊形结构)等技术以获得所需性能的产品。。
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